ITO靶材有望受益于HJT電池爆發(fā)
2022年01月20日 9:54 17683次瀏覽 來源： 未來智庫 分類： 其他稀有金屬
HJT 電池工藝步驟簡化，TCO 薄膜沉積分 PVD/RPD 兩種工藝。HJT電池工藝包括清洗制絨、非晶硅薄膜沉積、TCO 薄膜沉積以及絲網(wǎng)印刷四步，其中TCO薄膜沉積分 PVD/RPD 兩種工藝。
PVD 磁控濺射工藝用被電磁場加速的高能粒子(Ar+)轟擊靶材，靶材表面原子獲得能量逸出，沉積在襯底表面形成氧化物薄膜。
RPD 工藝利用等離子體槍產(chǎn)生氧的等離子體，讓其進入生長腔后，在磁場作用下轟擊靶材，靶材溫度升高后生化形成蒸汽實現(xiàn)薄膜沉積。
目前主流技術(shù)路線是用 PVD工藝，相較于PVD，RPD的效率和質(zhì)量更高，但是受制于日本住友公司對設(shè)備和靶材的壟斷，成本較高。
靶材是 TCO 薄膜沉積的關(guān)鍵，ITO 靶材為最佳選擇。不論是 PVD 工藝還是RPD工藝，靶材都是必不可少的材料。目前市場化的靶材有 AZO 和 ITO 等。AZO材料價格較為經(jīng)濟，但其導(dǎo)電性較 ITO 相差較大，通過厚鍍膜來彌補導(dǎo)電性將極度降低光的透過率，將 大幅降低電池特性。ITO靶材就是氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過一系列的生 產(chǎn)工藝加工成型，再高溫氣氛燒結(jié)(1600度，通氧氣燒結(jié))形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體，通過 調(diào)整氧化銦和氧化錫粉末的比例，可以提高 HJT 電池的轉(zhuǎn)換效率。
ITO 靶材以進口為主，國產(chǎn)替代正當(dāng)時。全球 ITO 靶材市場主要供應(yīng)商有日本日礦、 三井礦業(yè)、康寧、優(yōu)美科等，其壟斷了全球 80%的中高端市場份額和 90%的全球晶圓制 造靶材市場份額。我國ITO靶材大量依賴進口，國產(chǎn)ITO靶材主要集中在中低端領(lǐng)域， 根據(jù)華經(jīng)情報網(wǎng)數(shù)據(jù)，2020 年市場份額僅在 30%左右。經(jīng)過多年發(fā)展，目前我國形成 了一批具備 ITO 靶材量產(chǎn)能力的企業(yè)，市場也開始逐漸導(dǎo)入國產(chǎn)靶材，靶材進口替代進 程有望不斷推進。
責(zé)任編輯：張雪卉
如需了解更多信息，請登錄中國有色網(wǎng)：www.bestexercisefitness.com了解更多信息。
中國有色網(wǎng)聲明：本網(wǎng)所有內(nèi)容的版權(quán)均屬于作者或頁面內(nèi)聲明的版權(quán)人。
凡注明文章來源為“中國有色金屬報”或 “中國有色網(wǎng)”的文章，均為中國有色網(wǎng)原創(chuàng)或者是合作機構(gòu)授權(quán)同意發(fā)布的文章。
如需轉(zhuǎn)載，轉(zhuǎn)載方必須與中國有色網(wǎng)（ 郵件：cnmn@cnmn.com.cn 或 電話：010-63971479）聯(lián)系，簽署授權(quán)協(xié)議，取得轉(zhuǎn)載授權(quán)；
凡本網(wǎng)注明“來源：“XXX（非中國有色網(wǎng)或非中國有色金屬報）”的文章，均轉(zhuǎn)載自其它媒體，轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息，并不構(gòu)成投資建議，僅供讀者參考。
若據(jù)本文章操作，所有后果讀者自負，中國有色網(wǎng)概不負任何責(zé)任。
