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中硅高科全景

9月26日，國(guó)務(wù)院國(guó)資委、人力資源和社會(huì)保障部共同召開中央企業(yè)先進(jìn)集體和勞動(dòng)模范表彰大會(huì)。中國(guó)五礦推薦的中國(guó)恩菲子公司洛陽(yáng)中硅高科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱中硅高科）集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組榮獲“中央企業(yè)先進(jìn)集體”稱號(hào)。

研發(fā)突破篇

科技創(chuàng)新是提升企業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵變量，更是增強(qiáng)企業(yè)核心功能的重要保障，中硅高科在成立之初，即以科技創(chuàng)新為發(fā)展源動(dòng)力，建設(shè)了國(guó)內(nèi)第一條擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的多晶硅生產(chǎn)線。近年來，中硅高科謹(jǐn)記高質(zhì)量發(fā)展要求，砥礪科技創(chuàng)新，錨定行業(yè)前沿，始終“做落實(shí)新發(fā)展理念的排頭兵、做創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展的排頭兵、做實(shí)施國(guó)家重大戰(zhàn)略的排頭兵”，緊緊圍繞“四個(gè)面向”戰(zhàn)略部署，聚焦“三大戰(zhàn)略領(lǐng)域”“四大業(yè)務(wù)集群”，向硅基材料產(chǎn)業(yè)新高地發(fā)起新挑戰(zhàn)。

圍繞國(guó)家戰(zhàn)略需求，瞄準(zhǔn)電子信息產(chǎn)業(yè)和新能源產(chǎn)業(yè)“卡脖子”環(huán)節(jié)，集聚創(chuàng)新資源，中硅高科成立了由47名專職科研人員組成的集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組。這支平均年齡只有33歲的團(tuán)隊(duì)，潛心篤志，在基礎(chǔ)研究和核心技術(shù)上持續(xù)深耕，在技術(shù)成果轉(zhuǎn)化上不斷突破，先后將芯片行業(yè)所需的多種硅基材料產(chǎn)業(yè)化，為實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)自主可控、提升產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈現(xiàn)代化水平、形成國(guó)家戰(zhàn)略性科技力量提供了堅(jiān)實(shí)支撐。

集成電路產(chǎn)業(yè)是全球各國(guó)戰(zhàn)略競(jìng)爭(zhēng)的制高點(diǎn)，也是經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)的新引擎，而超高純硅基電子材料是集成電路產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料。目前，超高純硅基電子材料面臨反應(yīng)體系復(fù)雜、產(chǎn)品要求嚴(yán)苛、常規(guī)純化技術(shù)受限、缺乏核心裝備等諸多難題，導(dǎo)致其國(guó)產(chǎn)化率不足10%。如何突破以上困難是我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的重點(diǎn)發(fā)展目標(biāo)，也是中硅高科集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組的重點(diǎn)研發(fā)方向。

根據(jù)中硅高科制訂的錨定硅基材料創(chuàng)新發(fā)展戰(zhàn)略，中硅高科集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組緊抓核心技術(shù)攻關(guān)，構(gòu)建了“縱向到底、橫向到邊”的硅基材料技術(shù)譜系，采用理性設(shè)計(jì)、跨尺度計(jì)算、高效實(shí)驗(yàn)相互融合、協(xié)同創(chuàng)新的方法，取代了傳統(tǒng)的試錯(cuò)法，解決了材料制備過程中存在的“合成反應(yīng)控制、痕量雜質(zhì)分離困難、核心裝備缺失和技術(shù)通用性差”等難題，初步建成了較完備的硅基材料基因庫(kù)，并形成“硅光伏”和“超高純硅基材料”兩大技術(shù)體系。

在針對(duì)先進(jìn)集成電路用硅基前驅(qū)體的制備技術(shù)突破上，他們基于液固反應(yīng)的化學(xué)機(jī)理，深入研究多元特征因素對(duì)反應(yīng)轉(zhuǎn)化率的影響機(jī)制，提出基于原料特性和工藝條件的高效轉(zhuǎn)化和雜質(zhì)綜合凈化策略，開發(fā)“反應(yīng)-分離-純化”關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了硅基前驅(qū)體高轉(zhuǎn)化、高純度、低成本制備關(guān)鍵技術(shù)的研發(fā)突破。

中硅高科集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組自成立以來，先后獲得授權(quán)專利49項(xiàng)，制修訂標(biāo)準(zhǔn)8項(xiàng)，形成核心技術(shù)成果8項(xiàng)，其中3項(xiàng)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。該攻關(guān)組研發(fā)的超高純硅基電子材料制備技術(shù)及應(yīng)用取得了重大突破，成功實(shí)現(xiàn)了科技成果轉(zhuǎn)化，榮獲河南省科技進(jìn)步獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)，該技術(shù)為硅基電子信息材料的平臺(tái)化布局及集群式產(chǎn)出提供了強(qiáng)力助推。

攻關(guān)組進(jìn)行方案設(shè)計(jì)和仿真計(jì)算

成果轉(zhuǎn)化篇

中硅高科集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組緊跟國(guó)家指引，依托技術(shù)優(yōu)勢(shì)和產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，持續(xù)推動(dòng)產(chǎn)業(yè)化裝備和規(guī)?；a(chǎn)技術(shù)的開發(fā)，促進(jìn)研發(fā)成果轉(zhuǎn)化，積極承擔(dān)實(shí)施了先進(jìn)制造業(yè)發(fā)展專項(xiàng)、中央引導(dǎo)地方科技發(fā)展專項(xiàng)等31項(xiàng)國(guó)家、省級(jí)、中國(guó)五礦重點(diǎn)項(xiàng)目。

中硅高科集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組始終踐行以市場(chǎng)營(yíng)銷為統(tǒng)領(lǐng)的理念，深知研發(fā)必須面向用戶需求，經(jīng)得起市場(chǎng)的檢驗(yàn)。他們?cè)谝淮未蔚膶?shí)踐中，讓仿真計(jì)算、數(shù)據(jù)模擬走出了實(shí)驗(yàn)室，真正進(jìn)入了生產(chǎn)一線。

為搶抓某個(gè)14納米以下硅基前驅(qū)體材料的市場(chǎng)應(yīng)用窗口期，中硅高科集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組統(tǒng)籌規(guī)劃，該攻關(guān)組劉見華等16人的突擊隊(duì)為使項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)度跟上市場(chǎng)變化的腳步，全面梳理進(jìn)度計(jì)劃，圍繞施工安排、設(shè)計(jì)參數(shù)和方案措施等進(jìn)行系統(tǒng)性優(yōu)化，從源頭上大幅壓縮調(diào)試周期。經(jīng)過20天不分晝夜的奮戰(zhàn)后，終于使合格產(chǎn)品的產(chǎn)出時(shí)機(jī)與市場(chǎng)應(yīng)用窗口期完美匹配。調(diào)試過程中，22處全流程技術(shù)完成改造，48處工藝參數(shù)實(shí)現(xiàn)固化，12名操作能手從中誕生，這支年輕的科研團(tuán)隊(duì)成為了一支能打勝仗的產(chǎn)業(yè)尖兵。在工業(yè)和信息化部高質(zhì)量發(fā)展專項(xiàng)氮化硅項(xiàng)目中，中硅高科集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組技術(shù)人員曾曉國(guó)、時(shí)慶合等人，采用跟班的方式，以廠為家數(shù)十個(gè)日夜，堅(jiān)守在操作崗位和生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)，完成產(chǎn)線數(shù)十冊(cè)累計(jì)將近15萬字的SOP（標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)程序）編寫，組織實(shí)施20余次專項(xiàng)培訓(xùn)，累計(jì)培訓(xùn)300余人次，通過理論指導(dǎo)+示范教學(xué)的形式，推動(dòng)項(xiàng)目成功落地，在滿足快速增長(zhǎng)的市場(chǎng)需求的同時(shí)，為行業(yè)提供了示范。

無論在哪個(gè)成果轉(zhuǎn)化項(xiàng)目中，該攻關(guān)組每個(gè)人都恪盡職守、兢兢業(yè)業(yè)，因?yàn)樗麄冎?，自己的工作?duì)項(xiàng)目成敗至關(guān)重要：在辦公室，常常能看到設(shè)計(jì)人員對(duì)著設(shè)備圖紙、工藝圖紙，看了又看，審了又審；在生產(chǎn)車間，常常能看到現(xiàn)場(chǎng)人員頂著烈日、又披著夜色，緊盯管道和設(shè)備上的各種儀表；在控制指揮中心，常常能看到操作人員通過鼠標(biāo)徐徐地打開閥門，注視著屏幕上慢慢跳動(dòng)的數(shù)字；在分析測(cè)試中心，常常能看到檢驗(yàn)人員穿著高純潔凈服，小心翼翼地將制備后的樣品注入質(zhì)譜儀；在充裝車間，常常能看到包裝人員一下又一下地緊固完閥門后，認(rèn)真貼好二維碼標(biāo)簽，精準(zhǔn)有序地將儲(chǔ)罐轉(zhuǎn)移到物流卡車上。之后，物流卡車將產(chǎn)品流轉(zhuǎn)到客戶的生產(chǎn)線上。直到試樣通過的信息傳來，攻關(guān)組的等待和期盼才最終化為成功的喜悅。

如今，中硅高科一期項(xiàng)目的10種產(chǎn)品已全部投放市場(chǎng)，二期一批項(xiàng)目的眾多產(chǎn)品也逐步進(jìn)入了調(diào)試階段，新的建設(shè)項(xiàng)目也開始了土建施工。扎根在項(xiàng)目上的中硅高科集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組，將繼續(xù)用嚴(yán)謹(jǐn)?shù)膽B(tài)度，一步一個(gè)腳印地推動(dòng)“基礎(chǔ)研究-中小試-產(chǎn)業(yè)實(shí)踐”全流程、全鏈條研發(fā)平臺(tái)建設(shè)，推動(dòng)中硅高科不斷發(fā)展壯大。

攻關(guān)組進(jìn)行產(chǎn)品氧氮分析測(cè)試

人才體系篇

中硅高科集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組以國(guó)家和省級(jí)重大發(fā)展需求為導(dǎo)向，充分利用硅基材料制備技術(shù)國(guó)家工程研究中心和國(guó)家能源金屬資源與新材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，博士后工作站，以及省、市級(jí)研究平臺(tái)，服務(wù)國(guó)家和區(qū)域發(fā)展戰(zhàn)略。遵循“關(guān)注一批、研發(fā)一批、突破一批”的發(fā)展思路，面向硅基材料及其關(guān)聯(lián)材料制備領(lǐng)域，采用了“產(chǎn)學(xué)研用”緊密結(jié)合的長(zhǎng)效運(yùn)行機(jī)制，科學(xué)規(guī)劃平臺(tái)建設(shè)梯級(jí)配置，堅(jiān)持“請(qǐng)進(jìn)來”和“走出去”相結(jié)合，不斷拓寬應(yīng)用基礎(chǔ)研究和產(chǎn)業(yè)化建設(shè)的發(fā)展通道，促進(jìn)創(chuàng)新鏈和產(chǎn)業(yè)鏈精準(zhǔn)對(duì)接，形成覆蓋科學(xué)研究、成果轉(zhuǎn)化、技術(shù)服務(wù)、人才培養(yǎng)和科技管理全要素的產(chǎn)學(xué)研用一體化融合管理模式。

中硅高科集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組有中華杰出青年工程師，也有諸多河南省、洛陽(yáng)市科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才和杰出人才，在他們的引領(lǐng)下，該攻關(guān)組逐步成為一支高水平科研開發(fā)創(chuàng)新能力和規(guī)范嚴(yán)謹(jǐn)工程實(shí)施能力兼?zhèn)涞膬?yōu)秀人才隊(duì)伍。另外，自2022年開始，中硅高科集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組還陸續(xù)選撥優(yōu)秀技術(shù)人才，參與中組部的卓越工程師教育培養(yǎng)計(jì)劃，與清華大學(xué)、浙江大學(xué)、天津大學(xué)等一類高校共同培養(yǎng)工程博士，為中硅高科的創(chuàng)新發(fā)展不斷積蓄力量。

日日行，不怕千萬里；常常做，不怕千萬事。中硅高科集成電路用關(guān)鍵硅基材料技術(shù)攻關(guān)組追求的高度，努力的程度，決定了未來能夠達(dá)到的境界，他們?cè)趽?dān)當(dāng)中不斷歷練，在盡責(zé)中不斷成長(zhǎng)，用智慧和汗水，描繪著中硅高科轉(zhuǎn)型升級(jí)的新畫卷。未來，他們將以堅(jiān)如磐石的信心，進(jìn)一步肩負(fù)起“擔(dān)國(guó)家責(zé)任，補(bǔ)行業(yè)短板”的使命，以只爭(zhēng)朝夕的勁頭積極打造硅基材料原創(chuàng)技術(shù)策源地，以堅(jiān)韌不拔的毅力向著硅基材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展的宏偉目標(biāo)勇敢邁進(jìn)，以銳意創(chuàng)新的精神為發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力貢獻(xiàn)力量。