電化學(xué)納米印刷術(shù)用于制造金屬連接件
2008年09月24日 8:38 6179次瀏覽 來源： 中國有色網(wǎng) 分類： 新技術(shù)
美國伊里諾伊州立大學(xué)的研究人員開發(fā)出了簡單易行的電化學(xué)工藝用于金屬互連線及其他納米結(jié)構(gòu)的直接布線。這種稱之為S4技術(shù)的工藝，首先用聚焦離子束在沖壓模具上刻出所需圖形，模具由硫化銀之類的超離子材料制成。超離子材料中，金屬離子幾乎可以在晶格中自由運(yùn)動。
將模具置于襯底上，施加電壓，在界面接觸點(diǎn)上引起電化學(xué)反應(yīng)。反應(yīng)產(chǎn)生的金屬離子穿越交界面進(jìn)入模具中。隨著反應(yīng)進(jìn)行模具深入襯底，在其上產(chǎn)生與模具圖形相反的圖案，目前達(dá)到的水平是分辨率為50nm，研究人員正在開發(fā)更理想工具以便進(jìn)一步提高分辨率。
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