日本展出直徑460mm的單晶硅錠
2008年06月10日 10:19 6501次瀏覽 來源： 中國(guó)有色網(wǎng) 分類： 新技術(shù)
日本Covalent Materials公司（原東芝陶瓷）在2007年11月15~16日該公司主辦的技術(shù)展會(huì)上，展示了直徑460mm的單晶硅錠。除可用于300mm硅片相應(yīng)裝置的內(nèi)部零部件外，將來有望用于450mm硅片。
此次展出的硅錠，可用作在300mm硅片刻蝕裝置上部電極使用的噴淋板及設(shè)置在硅片放置臺(tái)上的環(huán)型聚焦環(huán)等部件。上述產(chǎn)品該公司已投產(chǎn)，部件直徑達(dá)400mm。在此基礎(chǔ)上開發(fā)的大直徑硅錠的生長(zhǎng)技術(shù)是實(shí)現(xiàn)450mm硅片的重要基礎(chǔ)技術(shù)。
為實(shí)現(xiàn)450mm硅片，還必須要進(jìn)一步降低硅錠內(nèi)部的雜質(zhì)和結(jié)晶缺陷，該公司利用各種模擬技術(shù)，優(yōu)化結(jié)晶生長(zhǎng)條件、硅片加工及研磨條件。半導(dǎo)體業(yè)計(jì)劃2012~2014年在批量生產(chǎn)線上使用450mm硅片，該公司將配合這一計(jì)劃做進(jìn)一步開發(fā)。
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